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晶圓盒清洗劑-去除金屬離子-羽杰科技


羽杰科技晶圓盒清洗劑

? ? 羽杰科技:晶圓盒清洗劑MLJ-6807?是由多種進(jìn)口表面活性劑、緩蝕劑、自研分散劑及其它助劑科學(xué)配制而成的環(huán)保型水基清洗劑,具有乳化、分散、滲透和較強(qiáng)的清洗能力。對(duì)maskFOSBFOUP晶圓盒表面的油污、油脂、灰塵顆粒、臟污、金屬碎屑顆粒等有很好的清洗效果,在操作過(guò)程中對(duì)環(huán)境友好,無(wú)氣味,無(wú)腐蝕。

? ?羽杰科技MLJ-6807晶圓盒清洗劑清洗可代替SPM、HPM不需要大量強(qiáng)腐蝕性化學(xué)劑即可祛除金屬離子,減少環(huán)境污染。

? ??適用光刻板盒、掩模板盒、硅片盒、晶圓盒、半導(dǎo)體 IC 專用盒、 承載器、鐵氟龍卡匣、鐵氟龍晶舟盒的表面處理,對(duì)工件表面無(wú)腐蝕, 不發(fā)白,不變色,不傷底材,無(wú)水印,無(wú)毒無(wú)污染,操作安全。?

? ??產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

√ 清洗臟污效果好,潔凈度高?

√ 對(duì)工件表面無(wú)腐蝕,不變色?

√ 槽液使用壽命長(zhǎng),易維護(hù),不漂油,不返沾油污?

√ 無(wú)殘留,無(wú)水印,易漂洗?

√ 低氣味,不腐蝕,無(wú)毒,無(wú)污染?

√ 符合歐盟 RoHS 認(rèn)證要求

? ? 深入清潔

? ?羽杰科技晶圓盒清洗劑MLJ-6807?能夠作用于料盒的每一個(gè)角落,無(wú)論是表面的凹槽還是難以觸及的微小間隙,都可以清洗干凈。

? ? 無(wú)損清洗

料盒多采用高分子材料,傳統(tǒng)機(jī)械清洗可能會(huì)造成刮痕,而超聲波以非接觸方式清洗,不會(huì)損傷料盒表面。

? ? 高效清潔

一次清洗可以處理多個(gè)料盒,清洗時(shí)間通常在5-10分鐘,大幅提高效率。

? ? 環(huán)保特性

羽杰科技MLJ-6807晶圓盒清洗劑清洗可代替SPM、HPM不需要大量強(qiáng)腐蝕性化學(xué)劑,減少環(huán)境污染。


? ??使用方法?

☆根據(jù)產(chǎn)品要求及設(shè)備情況,可選擇最簡(jiǎn)單、有效的操作工藝。

☆可超聲波清洗或加溫浸泡使用。?

☆超聲波清洗溫度控制在 5055℃;清洗時(shí)間為 35min。?

☆按比例稀釋成工作液,使用濃度一般為 5%10%之間,可視工件 表面贓污狀況而適當(dāng)?shù)恼{(diào)整,稀釋及漂洗用水建議使用 D.I 水,不能使 用地下水或其它水源。?

☆清洗劑的更換根據(jù)顏色及含臟污量判斷,顏色變深或污濁及含油量 達(dá)到飽和,需要將清洗劑更換,以免影響清洗效果。 ☆清洗后工件不可直接與手接觸,以免產(chǎn)生手印和污染。?

☆為達(dá)到最佳清洗效果,可以適當(dāng)調(diào)整清洗劑兌水比例和漂洗次數(shù)以 達(dá)到最佳的清洗方式。

? ??工作液維護(hù)?

1、定期檢查槽液溫度、液位,及時(shí)補(bǔ)水及相應(yīng)比例補(bǔ)加原液。

2、按規(guī)定時(shí)間定期更換槽液。

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