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鐳射激光切割保護液-羽杰科技


激光切割保護液

? ? ? 羽杰科技研發(fā)的YJ-1080水溶性鐳射激光切割保護液,是一種用于晶圓激光切片工藝的高密度合成聚合物涂層,可以有效地覆蓋和保護晶圓片表面,可應用于LED及半導體Low-k激光燒蝕加工。在高亮度LED加工中激光燒蝕加工及隱形切割方法逐漸成為主流制程,其中燒蝕加工兼顧了效率、合格率及成本上的平衡。

? ? ? ?與此同時,集成電路特征尺寸不斷微縮,Cu-Low-k制程得到廣泛的應用,帶Low-k膜(低介電常數(shù)膜)的晶圓需要采用激光開槽方式加工。YJ-1080可有效抑制LED晶片及晶圓表面碎片沾附,同時具有優(yōu)異的冷卻效果,防止保護膜的熱固著,易于清洗??蓪崿F(xiàn)藍寶石、GaAs、Si及SiC等基底的切割保護。


產(chǎn)品主要特點:

●降低制程產(chǎn)生的過熱及燒灼
●減少顆粒附著晶圓
●晶圓表面產(chǎn)生保護膜
●無殘留的優(yōu)良切割制程
●百分百水溶性
●激光切割制程的最佳解決方案

運用:

*?硅基晶圓激光切割;

*?GaAs、InP晶圓激光切割;

*?SiC、GaN激光切割;

鐳射激光切割保護液

使用方法:

先將羽杰晶圓激光保護液以噴涂或是涂布的方式,均勻的分布在晶圓(LED或半導體)等工件表面,再進行激光加工作業(yè)。

注意事項:未使用完的保護液須將桶蓋擰緊,避免水分、油質(zhì)、灰塵混入,影響加工品質(zhì)。

包裝規(guī)格:1加侖/桶,20L/桶

貯存條件:存放于陰涼透風處,避免日曬雨淋。


本文標題:鐳射激光切割保護液-羽杰科技

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